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  • Reportage

Silicon Saxony: Chips frisch aus Dresden

, von Monika Dunkel

Bosch baut in Dresden eine Chipfabrik. Dort ballt sich die Halbleiterindustrie – dank eines Mannes und zig Milliarden an Steuersubventionen

Im Reinraum einer Chipfabrik sind die Hygienevorschriften strenger als in jedem Krankenhaus
Im Reinraum einer Chipfabrik sind die Hygienevorschriften strenger als in jedem Krankenhaus

Deutschlands Cluster: Deutsche Unternehmen sind berühmt für ihr Können und ihre Produkte. Marktführer und Konkurrenten sitzen dabei oft dicht beieinander. In einer Serie ergründet Capital das Erfolgsgeheimnis der „German Valleys“


Bastian Joffroy braucht keine Tafel, die Vitrine tut’s auch. Mit ein paar Strichen skizziert er die Stränge einer DNA. Biologie-Refresh. Daneben malt der Bioingenieur einen Smiley. „Origami für Moleküle“ nennen sie das hier. Denn wie bei der japanischen Falttechnik faltet Joffroy DNA-Stränge zu winzigen Körpern, Spiralen, Smileys oder sogar Eiffeltürmen.

Was skurril klingt, ist ein wichtiges Projekt der TU Dresden, Grundlagenforschung. Gerade mal 26 Jahre alt ist Joffroy, klein, drahtig, Sweatshirt und Jeans, seine Gedanken sind schneller als seine Worte. Bei seinen Gästen bleiben dann nur noch Satzfetzen hängen wie „Goldpartikel“, „DNA-Stränge auf einem Chip“ und „plasmonische Wellenleiter“.

DNA auf einem Chip? „Wir forschen an völlig bekloppten Sachen, das versteht kaum ein Mensch“, sagt Gerhard Fettweis, Joffroys Chef. Der Professor für Elektrotechnik leitet das Center for Advancing Electronics. 300 Wissenschaftler, die klügsten Köpfe aus aller Welt, arbeiten hier: Biologen, Chemiker, Informatiker, Mathematiker. Sie tüfteln an einer Zukunft der Mikroelektronik jenseits von Silizium.

Denn der Chip aus Silizium, der schon heute in jedem Auto, Kühlschrank, Windrad und selbst in Personalausweisen steckt, stößt irgendwann an physikalische Grenzen. Noch kleiner und schneller geht dann nicht mehr. „Wir gucken uns hier Methoden aus der Biologie ab, unser Gehirn läuft schließlich auch ohne Silizium bestens“, sagt Fettweis.

Clustermacher Gerhard Fettweis im Uni-Büro
Nie ohne Palme. Vom Silicon Valley ins Silicon Saxony, Clustermacher Gerhard Fettweis im Uni-Büro - Foto: Sven Döring

Niemand weiß, ob aus den Ideen von Fettweis und seinen Kollegen jemals etwas wird. Doch für das „Silicon Saxony“, den größten deutschen Hightech-Cluster, sind sie dennoch Gold wert. Die Halbleiterindustrie giert immerzu nach neuen, besseren Produkten, kaum eine Branche dreht sich so schnell und brutal. Das wissen sie auch in Sachsen inzwischen, deswegen sind sie auf der Hut.

Silicon Saxony – das sind heute rund 2300 Betriebe, 60.0000 Beschäftigte, 14 Mrd. Euro Umsatz in der IT-Industrie und etliche Forschungsinstitute. Hinter den nackten Zahlen aber verbirgt sich eine Geschichte voller Höhen und Tiefen. Es gab spektakuläre Ansiedlungen, ernüchternde Insolvenzen. Sie handelt von gewieften Politikern, umtriebigen Wissenschaftlern, klugen Unternehmern und fleißigen Menschen. Sie schwankt zwischen Euphorie und Enttäuschung, doch im Moment überwiegt die Hoffnung. Es wird wieder investiert, der Staat buttert kräftig rein. Eine zweite Bewährungsprobe, der Ausgang ist offen.

Wer zu den Anfängen des Clusters will, landet bei Martin Gillo. Ohne sein Zutun wäre es wohl bei einem Clusterchen in Dresden geblieben. Gillo war damals, kurz nach der Wende, Manager bei AMD, jenem Halbleiterhersteller aus den USA, den Sachsens Ministerpräsident Kurt Biedenkopf in sein Land lotsen wollte. „Die Amis waren sehr skeptisch am Anfang“, erinnert sich der heute 72-jährige Gillo. AMD hatte damals Angebote aus Singapur, es gab schon ein Grundstück in Irland für den Bau einer Fabrik, „Silicon Isle“ wollten die Iren ihren Cluster nennen. Ostdeutschland hatten sie in Kalifornien, dem Sitz des Unternehmens, nicht auf der Karte.

Die Amis hatten Angst

Dann machte Biedenkopf AMD-Chef und Gründer Jerry Sanders die Offerte. Die Konditionen waren gut, es gab Subventionen zur Ansiedlung, Forschungsförderung und Zuschüsse für jeden Arbeitslosen, den sie einstellen würden. „Wir fragten uns nur, ob die Ostdeutschen nach 40 Jahren sozialistischer Planwirtschaft mit unserer Arbeitskultur klarkämen, die auf Leistungsdenken getrimmt ist“, so Gillo. Außerdem befürchtete AMD Ressentiments, da die Amerikaner am Ende des Zweiten Weltkriegs Dresden gemeinsam mit den Engländern bombardiert und zerstört hatten.

Sein Chef beauftragte ihn, nach Dresden zu fliegen. „Martin, guck du dich da mal um“, hieß es. Als Erstes traf sich Gillo, Deutschamerikaner und zu dem Zeitpunkt Personalchef für Europa in Genf, mit Leuten von Philip Morris, die in Sachsen schon Zigaretten produzierten. Auch das neue Opel-Werk in Eisenach guckte er sich an. Am 50. Jahrestag der Bombardierung, im Februar 1995, war er in der Stadt mit einem AMD-Geschäftspartner aus den USA. Sie sahen überall Plakate: „Nie wieder Faschismus, nie wieder Krieg“. „Da war eine der heikelsten Ängste weg“, sagt Gillo.

Damals lernte er auch den jungen Wissenschaftler Fettweis kennen. Frisch aus Berkeley war der gerade an die Uni Dresden gekommen, mit besten Diplomen und Erfahrungen mit einem Start-up. Ein Wirbelwind, der Technotalk mit den Amerikanern betreiben und so begeistert über Mikroelektronik reden konnte, dass er alle mitriss. „Der war der Sonnyboy des Silicon Saxony“, sagt Gillo. „Ich wurde als Zierde angeheuert“, spottet dagegen Fettweis.

Die Welt in Dresden ist klein, hier herrscht ein ganz eigenes Provinzmilieu. Man kennt sich, beäugt sich, aber schätzt und hilft sich auch. „Ein genialer Cluster“, findet Fettweis. Als Stärke empfindet er bis heute die „Riesenleistungsbereitschaft der Leute“. Außerdem das dichte Netzwerk von Forschungsinstituten, die TU, die Fraunhofer-Institute, die Max-Planck-Institute. Und dass hier Grenzen eingerissen wurden: Wirtschaft und Politik, Unis und Unternehmen arbeiteten von Anfang an eng zusammen.

Gillo riet zu. 1998 konnte AMD das erste Chipwerk in Rekordzeit fertigstellen, ohne auch nur einen Tag auf eine Genehmigung zu warten. Biedenkopf setzte die Entscheidung im Kabinett gegen alle Widerstände durch, er wollte einen zweiten Leuchtturm für seinen Cluster, unbedingt.

Zuvor hatte Biedenkopf schon Siemens rumbekommen. In der Rekordzeit von vier Wochen entschied sich Konzernchef Heinrich von Pierer für Dresden. 1994 bauten die Münchner am Rand der Dresdner Heide die erste Halbleiterfabrik für 1,2 Mrd. Euro mit rund 1500 Arbeitsplätzen. Simec hieß die Siemens-Tochter, aus der später Infineon wurde. Sachsen butterte rund eine halbe Milliarde Euro dazu, die Schätzungen gehen auseinander.

[Seitenwechsel]

 Mach es wie die Tauben

Für die Ostdeutschen war Biedenkopf ein Glücksfall. Als die Mauer fiel, arbeiteten in der Dresdner Halbleiterindustrie rund 10.000 Menschen, die motiviert waren, aber kein Geld hatten und keinen Schimmer, wie es weitergehen würde. Der Mann aus dem Westen, CDU-Politiker und Volkswirtschaftsprofessor aber hatte einen Plan. Sachsen wurde sein Labor, aus dem „Tal der Ahnungslosen“ wollte Biedenkopf eine der erfolgreichsten Technologieregionen Europas machen. Leitgedanke war ein Spruch seines Vaters, eines Unternehmers: „Wo Tauben sind, fliegen Tauben hin.“

Ein paar Jahre flogen die Tauben. Es waren goldene Zeiten für die Chipindustrie, getrieben von Computern und Handys. Die Renditen zweistellig, die Chips wurden immer stärker und billiger. Alle 18 Monate passte doppelt so viel Elektronik auf einen fingernagelgroßen Chip – das von Intel-Mitgründer Gordon Moore vorausgesagte Gesetz funktionierte. Die beiden Dresdner Leuchttürme Simec und AMD strahlten und zogen immer mehr Zulieferer an.

Dann das erste Kriseln 1999. Siemens gründete sein Halbleitergeschäft aus, die Weltmarktpreise für Chips schwankten massiv, die Dresdner Fabrik hieß nun Infineon. 2005 koppelte Infineon die Speicherchipsparte ab, weil deren Wert so schwankte. An der Dresdner Heide prangte nun ein neues Schild: Qimonda. Die meldete 2009 Insolvenz an, 3000 Leute wurden freigestellt.

Auch AMD schrieb rote Zahlen. Dort tauchten ein paar reiche Scheichs auf, 2009 stieg ATIC aus Abu Dhabi ein. AMD Dresden hieß nun Globalfoundries. Das Werk produzierte weiter Mikroprozessoren, aber nun im Auftrag von anderen Firmen. In Dresden ging die Angst um. Viele hatten die Schnelligkeit der Halbleiterindustrie verdrängt.

Heute Systemrelevant

Acht Jahre ist der Schock nun her. Doch Rutger Wijburg fühlt ihn bis heute. Die „Gefährdung unserer Industrie hört nie auf“, sagt der Dresden-Chef von Globalfoundries. „Wir können uns nicht ausruhen.“ Der drahtige Holländer steht in einem schmucklosen Konferenzraum in der Dresdner Firmenzentrale. Er trägt Outdoorjacke und kommt fix zur Sache. Die Mikroelektronik erlebe gerade eine dritte große Welle, die alles umwälze. „Wucht und Geschwindigkeit sind enorm“, sagt er. „So was habe ich noch nicht erlebt.“ Wijburg kam 2011 zu Globalfoundries, damals lief die Produktion mau, er räumte auf, steigerte Effizienz und Produktionsgeschwindigkeit, baute einen neuen Reinraum, entließ Leute. Das Werk hat heute 3400 Mitarbeiter und ist das größte Halbleiterwerk Europas.

Rutger Wijburg ist Chef von Globalfoundries. Sein Lernroboter ­Robbie spricht bisher nur chinesisch
Rutger Wijburg ist Chef von Globalfoundries. Sein Lernroboter ­Robbie spricht bisher nur chinesisch - Foto: Sven Döring

„Früher waren wir wichtig für Sachsen“, sagt Wijburg, „heute ist unsere Industrie systemrelevant für Europa.“ 20 bis 50 Milliarden Chips werden bald pro Jahr für die Industriewelt 4.0 produziert. Zu Hochzeiten der PCs waren es 300 Millionen Chips im Jahr, im Mobilfunkzeitalter 1,5 Milliarden. Zu tun gibt es also genug. Nur Geld damit zu verdienen wird schwieriger. Denn die Herstellung der winzigen Chips wird immer aufwendiger, die Preise aber verfallen, die Konkurrenz ist so groß.

Mehr als 1,5 Mrd. Euro will Globalfoundries bis 2020 in Dresden investieren. Land und Bund geben erneut dreistellige Millionenbeträge dazu. Mit dem Geld entwickeln sie ihre Anlagen weiter. Rund eine Million Wafer können sie dann pro Jahr herstellen, 40 Prozent mehr als bisher. Wafer sind hauchdünne Siliziumscheiben, auf denen die Mikrochips gebaut werden. Außerdem treibt Globalfoundries seine 22FDX-Technologie voran. Die Zahl 22 steht für Strukturgrößen von 22 Nanometern. FDX ist eine neue Chipgeneration, die leistungsstark ist, aber vor allem viel weniger Strom verbraucht und billiger herzustellen ist.

Ein paar Kilometer weiter räumt Heinz Martin Esser gerade die letzten Kisten im neuen Werksgelände aus. Er ist einer der Chefs von Fabmatics, einem klassischen Zulieferer, wie es sie zu Hunderten rund um Dresden gibt. Das Unternehmen automatisiert die Produktion in den großen Halbleiterfabriken. Für Globalfoundries haben sie im Reinraum ein Schienennetz zum Transport der Siliziumscheiben installiert. Die Wägelchen sausen von einer Station zur nächsten, sie wissen genau, wohin. „Ein Riesenfortschritt“, sagt Esser. Je weniger Menschen im Reinraum, umso besser. Denn dort muss es sauberer sein als in einem OP-Saal.

Der Cluster ist für Fabmatics Gedeih und Verderb. Als Qimonda pleiteging, habe es viele Zulieferer erwischt, sagt Esser. Deshalb ist er heilfroh, dass Fabmatics inzwischen mehr Umsatz im Ausland macht als zu Hause. Das Telefon klingelt, ein Kollege fragt, was mit den Japanern sei. „Wir haben den Auftrag“, sagt Esser stolz. „Ihr könnt loslegen.“

Auch der Mann, der Silicon Saxony von Anfang an mit hochgezogen hat, hofft, dass noch mehr losgeht. Nach Jahren des Aufbaus und der Rückschläge sei es Zeit für den Durchbruch, sagt Gerhard Fettweis. Zwei, drei kleinere Unternehmen aus dem Cluster, so seine Hoffnung, schaffen ab 2025 Umsätze von mehr als 100 Mio. Euro, sächsische Mini-Einhörner quasi. Die könnten dann andere mitziehen, sodass sich der Cluster endlich selbst trägt. „Der Spirit ist da.“

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